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                              電容式,陶瓷壓阻式,硅壓阻式,單晶硅壓力傳感器的分類
                              點擊次數:1170 發布時間:2020-11-05

                              1.電容式壓力、差壓傳感器的原理

                              電容式變送器有一個可變電容的傳感組件.該傳感器是一個完全封閉的組件過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移.傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成(4-20)mA的兩線制輸出的電信號。

                              2 、陶瓷壓力傳感器原理及應用

                              抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應,使電橋產生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據壓力量程的不同標定為2.0/ 3.0 / 3.3mV/V等,可以和應變式傳感器相兼容。通過激光標定,傳感器具有很高的溫度穩定性和時間穩定性,傳感器自帶溫度補償0~70℃,并可以和絕大多數介質直接接觸。

                              3 、擴散硅(硅壓阻)壓力傳感器原理及應用

                              工作原理被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。利用應變電阻式工作原理,采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件,具有****的計量特性。一般的差壓變送器所用傳感器的種類有很多,幾十年來技術更新出很多種;例如差壓變送器,用擴散硅做差壓傳感器那已經是很落后技術了。電容的差壓模盒是所用較多的技術,典型的就是羅斯蒙特的差壓變送器,它所用的技術就是電容技術,這種技術也是比較古老的技術了,但是可以說這個技術是目前經久不衰的技術。其他的差壓傳感器出現了硅諧振等新式技術,例如日本EJA等。在性能方面無論是電容式還是其他的都有各自的優缺點,在性能方面是不相上下的!但是技術歸技術,你還要考慮到生產廠家的生產工藝等因素對產品質量的影響,所以*好還是選擇正規有實力的廠家的差壓傳感器!

                              4. 單晶硅傳感器

                              在單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術(MEMS),分別在其表面的中心和邊緣制成兩個形狀、大小完全一致的H形諧振梁,且處于微型真空腔中,使其既不與充灌液接觸,又確保振動時不受空氣阻尼的影響。硅諧振梁處于由磁鐵提供的磁場中,與變壓器、放大器等組成一正反饋回路,讓諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩。當單晶硅片的上下表面受到壓力并形成壓力差時,硅片將產生變形,導致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小,邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加,因而使兩個H形諧振梁分別感受到不同應變作用,其結果是中心諧振梁因受壓縮力而頻率減少,邊緣諧振梁因受到張力而頻率增加,兩個頻率之差對應不同的壓力信號

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